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特气系统 之泛半导体行业常用高纯工艺系统

2020-10-07 14:00:02    责任编辑: 特气系统工程企业     0

因使用环境、行业领域等的不同,高纯工艺系统会以不同的形式呈现,在泛半导体行业中,常用的高纯工艺系统便是超高纯电子特气系统(以下简称特气系统)。


特气系统被泛半导体行业广泛应用的原因?

半导体行业的不断发展,对高纯特种气体的需求越来越大、要求越来越严格。在生产中,高纯特种气体直接影响产品的好坏、生产率和良品率。

但特种气体大都具有有毒、易燃易爆、高腐蚀性、高氧化性等性质,如H2Se、SIH4、CL2、NF3等,因此如何安全、稳定、可靠地贮存和输送高纯特种气体呢?特气系统工程应运而生。


特气系统的设计理念——安全

在特气系统设计之初,“安全”的设计理念便已贯穿其中,在特气系统工程的设计安装、操作和维护都有相应的标准操作规程。比如:特气系统的相关操作人员需要经过专业的特气设备操作维护运行及异常处理的专业培训后方可上岗作业。

因为特气事故的发生是非常危险和可怕的。


特气系统的组成部分?

特气系统是通过设备、气体管道和阀门部件从供气源为终端的使用设备,安全稳定的输送高纯气体的高纯气体工艺系统。

在特气系统工程中最具代表性的设备便是沃飞特气柜了,沃飞特气柜的负压系统、气体侦测报警系统、自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断等功能都在很大程度上保障了气体的纯度、使用安全和稳定供气。


以上,就是常用于泛半导体行业中的超高纯电子特气系统工程的一些设计理念和系统组成上的简单先容,感谢您的阅读!


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